将一个密闭容器，接上真空泵，对它进行持续抽气，然后密闭容器内的气体压力就会低于大气压，达到负压状态。不但如此，经过特殊的技术改进，除了单抽气的真空泵外，还可以形成抽气打气两用的微型真空泵(即排气端可以产生比较大的正压)，用于增压、充气、克服系统阻力等等以及非常独特的水气两用微型真空泵，它可以用于需要长期空转、干转等等场合。
在旋片真空泵的构造方面，为了能在停泵时避免返油，有的设有能自动切断油路的止回阀，有的设有进气通道截止阀，有的为了能在泵开气镇运转忽然停电时自动切断气路来坚持泵口处于真空形态而设有油泵和控制构造。在附件方面，有消雾器，气息过滤器，阻挠碎玻璃等杂物用的人口过滤器，灰尘过滤器，气水分离器，有控制泵温以进步水蒸气抽除率和维护泵的温控水量调理阀。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对泵有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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